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ISO14644-1、GB50073-2001洁净厂房标准规范
ISO14644-1、GB50073-2001criterion standard of clean workshop

Class等级	等级限制（Limited Class）
	0.1um	0.2um	0.3um	0.5um	1um	5um
	（m3）	（m3）	（m3）	（m3）	（m3）	（m3）
1	10	2	/	/	/	/
2	100	24	10	4	/	/
3	1000	237	102	35	8	/
4	10000	2370	1020	352	83	/
5	100000	23700	10020	3520	832	29
6	1000000	237000	102000	35200	8320	293
7	/	/	/	352000	83200	2930
8	/	/	/	3520000	832000	29300
9	/	/	/	35200000	8320000	293000

注：1.每个采点应至少采样3次；
2.本标准不舍用于表征悬浮粒子的物理性，化学性、放射性及生命性；
3.根据工艺要求确点1至2种粒径；
4.各种要求粒径D的粒子大允许浓度Cn由公式确定，要求的粒径在0.1~5um范围，包括0.1um及5um。


式中：Cn——大于或等于要求粒径的粒子允许浓度（pc/m3）。Cn是以四舍五入到相近的整数，有效位数不超过三位数。
N——沽浄度等扱， 敷字不超出9、 洁净度等级整数之间的中间数可以按0.1为允许递增量。
D——要求的粒径(um)。
0.1——常数，其量纲为um。

美国联邦标准
(FS209E)America federation standard (FS209E)

等级（Class）	粒径（um）diameter of dust（um）
	01.	0.1	0.2	0.3	0.5	50
1	35	35	7.5	3	1	/
10	350	350	75	30	10	/
100	/	/	750	300	100	/
1000	/	/	/	/	1000	7
10000	/	/	/	/	10000	70
100000	/	/	/	/	100000	700

各行业洁净等级分类

行业分类	洁净度	级别
		01.μm级	1.000	10.000	100.000
		0.5μm级	10	100	1.000	10.000	100.000
	用途
半导体工业	拉单晶		/
	扩散			/
	腐蚀、光刻、表面处理、金属蒸发		/
	组装试验			/
	原料				/
	研磨			/			/
	包装
	半成品储藏					/
激光工业	气体激光			/
	固体激光		/
	半导体激光、激光手术刀			/
光学仪器	镜片研磨			/
	刻标			/
	医用照相机加工、装配、镜头组装			/
	胶片制造、干燥					/
	缩微胶片、显像、干燥			/
	组装			/
	涂漆、试验、检查					/
计时·精密仪器	电子表、零件组装、火箭零件加工组装			/
	人造卫星控制装置		/
	高可靠性部件装置			/
	微型轴承		/
	普通轴承						/
	组装，检查		/
电子计算器	磁鼓、磁带、磁盘			/
	加工、组装、试验、检查			/
电子机械、电子式计算测试	显像管			/	/
	高可靠管、光导摄像管			/
	印制板					/
	小型续电器			/
	精密电器仪表			/
	零件、加工、组装、检查			/
药品·医学·医院	制药工序			/
	注射液·安瓶封瓶			/
	注射·林格氏液·疫苗贮存			/
	无菌手术室			/
	一般手术室、恢复室、LCU、CCU			/
	无菌病房			/
	新生婴·早产婴儿室			/
	无菌房、手术机械保管室、无菌动物实验、细菌实验					/
	药剂室			/
	一般病房、诊疗室					/
食品酿造	牛奶、酒、乳酸菌饮料			/
	清凉饮料的瓶装，封口			/
	乳制品、糕点包装						/
	火腿片制造、蘑菇种植			/
	肉食加工				/